写真の説明
折角なので、VDECのIC試作で余ったスペースに落書きしてみました。
これだけ小さいと、手持ちの9倍のルーペでも、「何かあるなぁ」
程度にしか、わかりませんでした。これは光学顕微鏡で撮影した写真です。
p型のシリコン上に、アルミを蒸着しています。
土台のシリコンは黒っぽく見え、アルミは白っぽく見えることがわかります。
デザインルールを守りながら描くのが、少し面倒です。
顕微鏡撮影をして下さった、山形大学工学部の水沼様に感謝します。
